活性炭吸附设备采用吸附法，系利用活性碳吸附剂(adsorbent) 固体本身的表面作用力，将voc分子之吸附质(adsorbate)吸引附着在吸附剂表面，以达到去除voc物质之目的。活性碳吸附法在低浓度voc条件下，可以理想地去除废气中挥发性有机物，同时有较佳的经济效益。故在空气污染物控制方面，---适用处理含低浓度voc 之废气，例如半导体厂、lcd厂、pcb厂与相关电子厂等。
活性炭吸附设备依照吸附剂与吸附物质间吸引力的不同，吸附法之机制包括有藉由物质间凡得瓦尔力作用之物理吸附及利用产生化学键结合之化学作用。其中物理作用为一可逆现象，常被用来由改变压力或温度破坏此平衡，以再生吸附剂并回收吸附物质，例如蒸气再生、化学氧化再生、微波再生等；化学作用为高放热反应且通常为不可逆反应。吸附剂的种类众多，废气处理设备价格多少，但以活性碳较常被采用，主要是因为活性碳对某些voc之物理吸附效果---、回收再生容易，而且价格便宜；至于其它吸附剂，如硅胶、硅藻土、活性氧化铝或合成沸石，则对voc之吸附选择性较高，因此需配合废气污染物之特性，选用适合之吸附剂。
废气净化吸附过程是废气与空气过滤器充分接触，空气过滤器会除去废气里面的微小的悬浮颗粒，工厂废气处理设备价格，废气会随之进入吸附床，通过吸附床内的活性炭除去---，废气处理，净化后的空气达到规定的标准后方可排放到室外。
废气净化脱附过程这个过程针对吸附床内的活性炭的，是指活性炭在使用一段时间后，其吸附了大量的---后是可以脱附的，活性炭使用时间的长短是和废气中---的含量以及使用时间的长短决定的，有机废气净化设备价格，脱附的过程是用脱附塔的，其原理是使用催化燃烧装置把活性炭内的溶剂利用热空气蒸出，蒸出的溶剂是不ke以直接排出的，会再次进入催化装置燃烧，燃烧后的高温气有一部分是排出到空气里面的，但大部分是送回吸附床，作为吸附的热能继续循环使用。
吸收废气处理设备的作用是采用低挥发或不挥发性溶剂对vocs进行吸收，再利用vocs和吸收剂物理性质的差异进行分离。含vocs的气体自吸收塔底部进入塔内，在上升过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。吸收了vocs的吸收剂通过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。
解吸后的吸收剂经过溶剂冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的vocs气体经过冷凝器、气液分离器后以较纯的vocs气体离开汽提塔，被回收利用。该工艺适合于vocs浓度较高、温度较低的气体净化，其他情况下需要作相应的工艺调整。
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